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备说明:用混合离子交换设备与抛光树脂配合使用是制取超纯水的传统工艺。超纯水是目前纯水制取行业工艺要求最高、制取最难、水质纯度最高的水。目前主要用于电子行业,也叫电子级超纯水。上诉设备为我公司协助上海总公司为中科院上海微系统研究所设计并施工运行的工程,系统出水量为9t/h,出水纯度为18Ω.cm
电子级超纯水中国国家标准(GB/T11446.1-1997)
项目级别 比电阻 MΩ.cm@25℃ 硅 ≤ μg/L >1μm微粒数