武汉薄膜电路激光调阻设备

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SET3/1064/532/355，SFT3：激光微调机/激光修阻机/激光调阻机/激光刻阻机　
激光调阻机的成功研制对推动我国微电子行业的产业升级起到重要作用。激光调阻机是利用激光技术对厚、薄膜电路进行修调，以得到高精度的电阻值或精准的输出信号。公司生产的激光调阻机全部拥有自主知识产权，采用高质量的激光源和精密的测量系统，空气悬浮平面运动机构，各项性能指标达到先进水平，是取代进口产品之.
SET507系列技术参数:
1.激光器系统
激光波长：532nm/355nm
激光平均功率：7W
典型光斑尺寸： 15μm±3μm
实际切口取决于材料、光学器件和波长
冷却方式：风冷
对焦方式：计算机程序控制
2．激光束定位系统
激光束运动范围：50mm X 50mm
重复定位精度：2μm
定位精度：±5μm
激光束最小步进：0.76μm
3．分步重复机械运动系统
运动方式：空气悬浮运动，无摩擦力
运动范围：290mm*260mm
最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根据要求定做）
运动分辨率：1μm
重复精度：2μm
定位精度：±15μm
最大运动速度：500mm/s
4．测量系统
激励方式：电流激励
恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择
电阻测量方式：四线制加电流测电压（可选择二线制）
直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
电阻测量精度：低阻：