XCTG-6 XCTG-8
镀膜室规格 ∮1200×1000~1200mm ∮1200~1900mm×1200~1300mm
极限真空度 ≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间 从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟
机组配置 分子泵F2500 3台 分子泵F4000 2-4台
靶配置 6个弧源 8个弧源
配电要求 KW KW
设备用途 适用于手机壳、手表、高尔夫球具等行业高品质镀膜要求
备注 可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标专用设备。可加装磁控靶、中频孪生对靶等。