氯硅烷尾气水解生产硅化物及盐酸技术和设备

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多晶硅和有机硅生产装置会产生大量氯硅烷尾气，除部分回收外，相当一部分需排放处理，大多是石灰乳喷淋吸收，形成二氧化硅和氯化钙混合液体，经澄清排放，产生无价值的废渣。采用低温水解或高温水解氯硅烷气体，产生20%以上的盐酸和活性二氧化硅。二氧化硅通过再加工处理，可以生产白炭黑、偏硅、层硅、硅酸铝等无机硅产品。盐酸出售或生产氯化钙。废气处理彻底，没有废水和废渣排放。