热解氮化硼坩埚

上海禹王精密陶瓷有限公司是山东禹王集团旗下的高新技术企业。是集化学气相沉积技术的研究、开发、生产为一体的工业实体，拥有国内先进的技术、设备和高水平的研发团队。
● 主要产品：
　　● 热解氮化硼壳体及涂层
　　● 热解石墨涂层
　　● 碳化硅涂层石墨体
产品概述
热解氮化硼（PBN）是特种陶瓷材料，是本公司在特殊设备上用化学气相沉积的工艺制得的。热解氮化硼的沉积过程，宛如“落雪”：氮化硼的六角型小雪片，一片一片的平行地落在石墨基体材料上，达到一定厚度后，最终冷却脱模而制成。
■规格：
类 型 类 别 最 大 尺 寸
坩埚类 LEC 8 inch
VGF 8 inch
MBE 8 inch
异形坩埚
板材类 圆形板材 8 inch
长舟 8 inch
绝缘板(MOCVD) 8 inch
涂层类 蒸发舟
石墨加热器
PBN/PG复合加热器
■主要特点：
 材料呈白色，无毒、无孔隙、易加工。
 纯度高达99.99％，表面致密，气密性好。
 耐高温，强度随温度升高，2200℃达到最大值。
 耐酸、碱、盐及有机试剂，高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应。
 抗热震性好，热导性好，热膨胀系数低。
 电阻高，介电强度高，介电常数小，磁损耗角正切低，并具有良好的透微波和红外线性能。
 在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各向异性。
■产品应用
 半导体单晶及III－V族化合物合成用的坩埚、基座：
原位合成GaAs 、InP 、GaP单晶的LEC系列坩埚。
分子束外延用的MBE系列坩埚。
VGF、VB法系列坩埚。
 PBN/PG复合加热器涂层。
 石墨加热器绝缘涂层。
 高温绝缘流体喷嘴。
 MOCVD绝缘板。
 异形坩埚及异形石墨件涂层。
 晶片退火工艺用复合加热器。