洁净氮气真空烘箱

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CNVO洁净氮气真空烘箱　　同时实现真空、洁净、无氧和高温组合运行环境洁净度100级（FED-STD-209E）　　整体不锈钢设计，内胆及层板架采用的均为SUS304不锈钢材料　　采用进口免维护低噪音风机及高效HEPA 　　多级软硬件报警和保护功能　　内容积330L或可按要求定制　　采用5"触摸液晶显示屏，设定及监控简便　　可实现参数及数据的处理、显示、记录等功能　　PLC控制模块，手动定制，自动和程序等运行模式　　　　产品主要应用：　　砷化镓半导体器件封装烘烤工艺　　微型传感器的封装工艺、　　MEMS的封装工艺研发　　LED等器件封装工艺和材料无尘防氧化烘烤