多光子聚合3D纳米光刻机

产品简介
多光子聚合3D激光光刻机是一套基于多光子聚合(mPP)技术专业为制备微纳结构而设计的3D激光光刻系统。系统可以有效配套市场上常见的光刻胶，实现纳米精度和分辨率的模型制作以及各种三维立体结构加工。

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多光子聚合3D纳米光刻机

多光子聚合3D纳米光刻机是一套基于多光子聚合(mPP)技术专业为制备微纳结构而设计的3D激光光刻系统。系统可以有效配套市场上常见的光刻胶，实现纳米精度和分辨率的模型制作以及各种三维立体结构加工。


系统优势：
l 一体化解决方案
l 分辨率100nm—10μm
l 复杂3D物体
l 多种多样的聚合物
l 占地面积小

应用领域：
l 纳米光子器件(3D光子晶体)
l 微流体
l 微光学元件(透镜，光纤头结构等等)
l 微观力学
l 微光机电系统(MOEMS)
l 生物医学

所有的加工过程都被集成到到同一系统中：3D模型准备，激光直写，后期处理

3D模型准备
SCA激光微加工软件控制系统运行并且可以准备简单地3D模型。
此外 ，也可以使用设计软件（例如Autodesk AutoCAD）设计3D模型，然后导入到SCA中，SCA支持*.stl, *.dxf格式的3D模型设计文件。最后将将模型文件导入到SCA上，准备进行 3D激光光刻。

激光直写
激光直写是由飞秒激光光源，3轴定位和扫描振镜操作执行3D聚合过程。
首先，待刻模型通过精密定位激光聚焦系统直接从CAD设计中导入到光刻胶中。聚合物的双光子或多光子吸收用于形成高质量表面的3D结构。