产 品 说 明
六氟乙烷 R116
"用途:
用作绝缘气、等离子蚀刻剂,高介电强度冷却剂。"
物理性质
分子式 C2F6
分子量 138
沸点 -78℃
临界温度 19.88℃
临界压力 3.05Mpa
密度(20℃) 1.015g/cm3
破坏臭氧潜能值 /ODP 0
全球变暖系数值 /GWP 11900
质量指标
外观 无色,不浑浊
气味 无异臭
纯度 ≧99.90%
水份 ≤10ppm
酸度 ≤0.1ppm
蒸发残留物 ≤100ppm
包装规格
可重复充装钢瓶10L、40L、500L