高纯三氟甲烷价格优惠 三氟甲烷厂家报价

发布日期 :2014-09-29 15:51 编号:2304780 发布IP:61.183.234.151
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武汉纽瑞德特种气体有限公司
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纽瑞德特气供应三氟甲烷(www.qiti88.com)

名称/化学式:三氟甲烷/CHF3
包装规格:44L、16L
纯度(%)及杂质(ppm):99.995% 99.999%
其它参数:
化学式 CHF3
摩尔质量 70.01 g·mol⁻¹
外观 无色气体
熔点 -155.2 °C (117.95 K)
沸点 -82.1 °C (191.05 K)
溶解性(水) 1 g/l, 20 °C
溶解性(有机溶剂) 可溶
蒸气压 4.38 MPa at 20 °C
kH 0.013 mol.kg-1.bar-1
pKa 25 - 28

产品用途:
在半导体产业中,三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的等离子蚀刻(plasma etching)中。三氟甲烷也是一种制冷剂(冷媒),名称为R-23或HFC-23,因为其不含氯,不会造成臭氧层破洞,有时会用来会取代造成臭氧层破洞的三氟氯甲烷(cfc-13)。三氟甲烷因为其低毒性、不容易反应及高密度,可用作灭火剂使用。此时常使用杜邦的商标名称FE-13代表三氟甲烷。三氟甲烷过去曾用来取代气体灭火系统中的海龙1301(cfc-13b1)。

安全注意事项:
急性毒性:大鼠吸入20%×2小时,存活;豚鼠吸入50~80%(充氧环境连续吸入),存活
危险特性:不燃。受热分解释出剧毒的烟雾。
燃烧(分解)产物:氟化氢。

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