溅射薄膜压力传感器

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溅射薄膜压力传感器http://www.zjkjsensor.com/芯体其利用离子束溅射薄膜技术结合先进的微电子工艺技术制造而成的不锈钢弹性膜片。离子束溅射在电阻合金材料上，在膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变电阻，膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出相应电信号。薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和紧固件, 可长期在-70～200℃工作温度下稳定工作。