乙二胺四亚甲基膦酸 EDTMP 半导体芯片清洗剂

乙二胺四亚甲基膦酸-EDTMP

别名：乙二胺四甲叉膦酸、亚乙基二胺四甲叉膦酸

英文简称：EDTMP

分子式：C6H20O12N2P4

相对分子质量：436

CAS 编号：1429-50-1

性能：常温下EDTMP为白色结晶性粉末，熔点215-217℃，微溶于水，在室温下溶解度小于5%，易溶于氨水。

用途:EDTMP具有很强的螯合金属离子的能力。EDTMP为高纯试剂且无毒，在电子行业可作为半导体芯片的清洗剂用于制造集成电路。