桌面型快速退火炉标配三组工艺气体，可测单晶片样品的zui大尺寸为6英寸（150MM），采用平行气路进气方式，气体的进入口设置在WAFER表面，避免退火过程中冷点产生，保证产品良好的温度均匀性。
万国桌面型快速退火炉RTP-Table-6
发布日期 ：2023-11-03 00:09 编号：12198373
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东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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