随着航空航天、汽车电子、军用、光伏、工业自动化等许多领域技术的不断发展，芯片在各种极端温度环境下的应用也越来越广泛。作为晶圆测试中的关键设备，探针台的运作原理在于通过其探针与被测器件上的 PAD 点**对位，以实现测试机输出激励信号的互通与信号反馈，最终获取和采集测试数据。高低温真空探针台可以很好的满足极低温测试和高温无氧化测设。在整个测试过程中，工程师们追求以最短的时间获得可靠的测试数据。
高低温探针台晶圆测温系统是一种用于在高温和低温环境下对晶圆进行温度测量和监测的设备。它通常由探针台、温度传感器、控制单元和数据采集系统组成。
高低温探针台：高低温探针台是用于将晶圆放置在高温或低温环境中的平台。它通常具有可调节的温度范围和稳定的温度控制能力，以确保晶圆在所需的温度条件下进行测量。
温度传感器：高低温探针台晶圆测温系统使用温度传感器来测量晶圆的温度。常见的温度传感器包括热电偶、热敏电阻和红外线传感器等。根据具体的应用需求和温度范围选择合适的传感器类型。
控制单元：控制单元用于控制高低温探针台的温度，并监测温度传感器的输出。它通常具有温度设定、温度稳定性控制和报警功能等。
数据采集系统：数据采集系统用于接收和记录温度传感器的输出数据。它可以实时显示温度数据，并提供数据记录和分析功能。
高低温探针台晶圆测温系统的应用范围广泛，包括半导体制造、材料研究、电子器件测试等领域。它可以提供准确的晶圆温度测量和监测，帮助优化工艺参数，提高产品质量和性能。此外，它还可以用于研究材料在不同温度条件下的性质和行为，以及测试电子器件在高低温环境下的可靠性和性能。
智测电子TC-WAFER晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况，还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。
智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量，保证温度传感器的长期测量精度。
合肥智测电子致力于高精度温测、温控设备的生产和研发定制，为半导体设备提供可靠的国产解决方案。