碳化硅长晶毛坯料生产厂家
恒迈瑞公司是宽禁带半导体(第三代半导体)碳化硅衬底和碳化硅晶棒的生产销售厂家,碳化硅产品可应用于微波电子、电力电子等领域。我司已批量供应6英寸导电型碳化硅衬底和碳化硅晶棒、6英寸半绝缘型衬底和晶锭、4英寸半绝缘衬底和晶体,且已制备高品质8英寸导电型碳化硅衬底,主要应用新能源汽车、光伏等领域。在碳化硅单晶材料的大直径生长、多型控制、应力和位错缺陷降低等关键问题,解决了碳化硅晶体生长缺陷数量的控制和晶体品质的瓶颈问题,从而得到高质量、大尺寸的碳化硅单晶材料。
导电型碳化硅衬底:导电型衬底要求实现更低的电阻率,可通过在晶体生长过程中引入氮元素,呈现低阻电学性能。目前,国际领先企业6英寸导电型碳化硅衬底电阻率在0.015~0.028Ω·cm之间,器件性能提升对衬底电阻率提出更严苛的要求。导电型碳化硅晶体的电阻率会存在分布不均匀的情况,电阻率直接影响器件的导通特性,因此,获得低阻值、衬底面内电阻率径向分布均匀、不同衬底电阻率值一致的导电衬底是实现功率器件性能优异的技术需求。