高低温载物台zonglen
系统: • -65ºC 到 +200ºC
扩展温度范围,低噪声,直流控制系统。
在前面板上可设置多达5个温度和斜坡/浸泡/循环热循环装置。
LAN , RS232;可选:GPIB.
无需液氮或任何其它消耗性制冷剂.
高效的冷却系统,用于可靠、低温测试混合动力车和其他高功率设备.
高低温载物台zonglen
高低温度卡盘: • 温度控制真空卡盘可容纳300毫米的晶圆.
• 高精度,控温性好,稳定性均匀.
• 可提供标准、高隔离性和防护配置.
• 先进的卡盘设计提供了低杂散电容和高接地电阻,直流电源能使电噪声最小化.
• 可与手动或自动探测站、激光切割器或检查站进行接口。