二手OLYMPUS奥林巴斯工业检查显微MX51
OLYMPUS MX51是一款显微镜，采用防静电设计，无限远矫正光学系统。
中文名OLYMPUS MX51产品特性采用防静电设计光学系统无限远矫正照明系统BX-KMA明视场类 型显微镜
目录
1产品特性
2技术规格
产品特性编辑播报
● 紧凑的设计实现最小的占地空间
● 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
● 标配158X158mm手动移动载物台(可用于200mm晶圆检查)
● 选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
● 采用防静电设计,极大方便磁头检查
● 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
技术规格编辑播报
光学系统:UIS (无限远矫正)光学系统MX51显微镜镜体:Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)行程相同：15mm(配合透射光照明)Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)调焦机构张力可调有调焦上限位机构MX51照明系统:BX-KMA明视场照明器BX-RLA2明视场/暗视场照明器BX-URA2照明器MX51透射照明:明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)
