微区表面形貌分析

检测行业中观察样品形貌一般用光学显微镜和电子显微镜（SEM），其中光学显微镜的优势在于操作简单、能直观看到待测位置的形貌、颜色等。在宏观形貌观察领域，光学显微镜（SEM）有着的优势，但在微观形貌观察时，光学显微镜则由于景深小而造成很多局限。比如样品观察面需要非常平整，否则观察不到或者拍摄出的图片质量差，此时样品需要制样磨平，但这样就破坏了样品原本的表面形貌。这种时候就需要电子显微镜（SEM）来弥补这一缺陷。
　　和传统光学显微镜相比，扫描电镜（SEM）具有以下特点：
　　1、能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
　　2、样品制备过程简单，不用切成薄片。
　　3、样品可以在样品室中作三维空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。
　　4、景深大，图象富有立体感。扫描电镜（SEM）的景深较光学显微镜大几百倍。
　　5、图象的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，图像分辨率可达3nm。
　　6、电子束对样品的损伤与污染程度较小。
　　7、在观察形貌的同时，还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。
　　扫描电子显微镜（SEM）是观察微观形貌的最有力工具，目前已广泛应用于材料、生物、环境等领域。