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PSG 磷硅玻璃去除设备
PSG 磷硅玻璃去除设备
供货厂家
北京华林嘉业科技有限公司
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电议
联系人
耿彪(先生)
电话
010-58467689
手机
13910297918
询价邮件
cgbchn@sina.com
发布日期
2010-03-12 10:33
编号
319936
发布IP
58.83.252.153
区域
北京工业机械维修
请卖家联系我
详细介绍
PSG 磷硅玻璃去除设备
1、设备主要应用于去除炉管制程中产生的磷硅玻璃
2、高产能及低破片率, 提供单晶硅片表面脏污及磷硅玻璃清洗处理
3、采用特殊干燥系统设备,有效降低产品破片率
4、全自动补液技术
5、双伺服机械手传送系统,自动上/下料工位,排水/进水系统实现全自动化,搭配触控式屏幕,提供操作简便的功能性
6、进口行走机械臂,运行平稳。全自动控制行程模式,优良的制程调控能力,稳定的高产出率及低破片率,适用于批量生产线。13910297918
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PSG 磷硅玻璃去除设备
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