罗茨旋片真空机组

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　　罗茨旋片真空机组是真空以罗茨泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。罗茨旋片真空机组选用旋片泵作为前级泵，它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。因该机组结构紧凑、抽速大、占地面积小，可以代替多台机械真空泵，因此罗茨旋片真空机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无爆炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的以及不含有颗粒尘埃的气体。它已广泛应用于冶金、化工、轻工、石油、医药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等行业。
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