白光干涉仪AM-8000自动化轮廓仪_光学轮廓仪_自动化落地式测量仪器

供货厂家
板石智能科技(深圳)有限公司  
品牌
优可测
测量原理
白光干涉(VSI+ PSI )
RMS重复性
0.002nm
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联系人
优可测(先生)
手机
17727891784
询价邮件
seina.xiao@atometrics.com.cn
发布日期
2026-11-01 11:20
编号
15027158
发布IP
14.155.48.103
区域
深圳粗糙度仪
地址
深圳市福田区彩田路7006号深科技城C座6层
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详细介绍
一、产品定位

AM-8000 是优可测白光干涉3D形貌测量系统的高端机型,在 AM-7000 基础型之上强化了智能操控与平台能力,主打"亚纳米级精度 + 自动对焦调平 + 支持在线检测系统。基于白光低相干干涉原理——两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源相遇产生干涉,干涉条纹亮度峰值之间的差即为高度差。


二、核心技术参数项目参数
测量原理白光干涉(VSI 垂直扫描 + PSI 相移扫描)
最高精度0.03nm;显示分辨率 0.001nm
RMS 重复性最高 0.002nm(AM-500N 测量头)
扫描机构闭环反馈精密压电陶瓷(PZT)
扫描范围最高 5000μm(AM-230R);AM-230X/AM-500N 为 400μm
最大扫描速度400μm/s(AM-230R/X);AM-500N 为 200μm/s
相机帧率169~3200Hz(230万像素)/ 77~2000Hz(500万像素)
可测反射率0.02%~(低反射率高透明样品亦可测)
镜头配置1X/2.5X/5X/5XL/10X/10XL/20X/23X/50X/100X/115X,最高 NA 达 0.8
角度特性光滑面最高 53°,局部剖面倾角可达 90°
XY 平台行程最高可达 300×300mm;Z 轴行程最高 350mm
工作环境zuijia工作温度 18-22℃
三、核心优势

1. 快——业内lingxian的采集与运算速度
采用业内首创 SST(Sub-sampling Technology)+ GAT(GPU Accelerate Technology) 算法,借助 GPU 并行处理(3000个核心、超10万亿次/秒浮点运算),可瞬间完成最高 500万点云采集。平均扫描时间 8 秒,仅为同类产品的四分之一左右

2. 稳——独创隔振与稳定机构
独创低重心机构、内置气浮缓冲机构,隔振稳定性提升 2.7 倍,5Hz 以上水平与纵向隔振均超 90%

3. 智——智能操控降低门槛

PreciTrack 条纹自动对焦技术:自动对焦 + 自动找干涉条纹,效率提升 8 倍

EquiDrive 自动调平技术(行业首创):调平角最大 ±10°,效率提升 7 倍

All in One 一键控制器:操作时间节省 50%

对焦曲线功能(行业首创)、ROI 自动提取/屏蔽、循环测量、批量报告导出

4. 大——超大行程与样品支持
4 自由度直驱电控平台,对比 AM-7000 平台行程提升 3 倍、负载能力提升 2.5 倍、定位精度提升 50%、移动拼接速度提升 30%,重复定位精度 ±1μm

四、可测参数与应用场景

可测参数:面粗糙度、线粗糙度、台阶高度、三维形貌、平面度、非球面 K 值、曲率半径、体积、面积等数十种分析功能,符合 ISO、GB/T、DIN、NF、JIS 等全球标准。

典型应用行业:

精密光学:微透镜粗糙度与面型检测

半导体:晶圆粗糙度、超光滑表面粗糙度、先进封装、非球面K值计算、陶瓷基板

3C:手机盖板粗糙度、潜望镜(1x长焦镜头)、手机开关平面度

医疗器械:微流控芯片、植入体、人工晶状体

微纳加工:MEMS 器件、激光加工、纳米压印

新能源:铜箔/铝箔粗糙度、钙钛矿、光伏

汽车:HUD玻璃、车灯微阵列、齿轮

该系列已获 德国红点奖(reddot winner 2025) 及多项quanwei认证