日本UNION公司THS-10是一款基于光学焦距检测方法.结合两个显微光学系统（表面和底面），采用精密对焦指示器的非接触式厚度测量系统。当观察到准确的位置和图象时，既可测量厚度，测量厚度10毫米,可选:25毫米。本机采用光学系统，操作简单。可清楚显示准确的对焦位。
案例:非接触测量 易拉罐冲压后的厚度测量,晶圆厚度的直接测量. 测量误差1微米,读数精度0.1微米
测量行程XY 100*100毫米 测量误差1微米
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