光刻机（JKG-2A）

光刻机（JKG-2A）
光刻机，是随着我国电子工业发展，为适应生产大规模集成电路、CCD、表面波、磁泡、微波等器件的光刻需要而设计制造的。它可以真空接触的方法，将掩模上的各种图案经紫外光束的曝光，分别转印至硅片或其它基片上，再经其它工序的处理，从而获得完整的微电子器件。