1849年，美国莱维斯••P••哈斯赖特发表了世界上最早的防毒面具发明专利，该面具的滤毒装置采用浸湿的羊毛或其他多孔材料，后来1868年，物理学家丁德尔与英国消防人员合作，研制出一种用于过滤空气中的微粒的过滤面具，其具有 A 层填充密实的棉毛，每两层之间由石灰，木炭和浸泡了甘油的羊毛层隔开。
第一次世界大战后，防毒面具演变为可以防护氯气，光气的装碱石灰的干式面具，继而改进为装填活性炭和棉花，羊毛的既有物理吸附性能又能过滤烟雾的防毒面具雏形。这一时期的防毒面具可以称之为第一代，其吸收剂主要为活性炭。二战期间，随着ASC型惠特莱炭的研制成功，标志着第二代防毒面具的到来。其主要特点是活性炭的浸渍处理，运用各种金属催化剂对活性炭进行处理。
进入20世纪80年代，随着科技迅猛发展，第三代防毒面具应运而生，主要特点为在面具罩体上采用新结构和新材料，提高其佩戴舒适性及滤毒罐接口标准，提高了面具的整体防护水平，滤毒罐吸附剂主要以ASZMT无铬炭取代 ASC有铬炭。
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