真空感应加热蒸发镀膜设备(IGBT)

发布日期 :2009-02-14 10:22 编号:33058
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真空感应加热蒸发镀膜设备(IGBT):
在卷绕式真空镀膜设备中,镀层蒸发传统工艺一般采用电阻式蒸发舟加热方式,这种传统的加热方式存在着蒸发面积小、蒸发不均匀、蒸发材料种类单一,加热过程中易飞濺等许多缺陷,在生产过程中造成镀层不匀,针眼多,速度低等难以克服的弊病,严重制约了镀膜工艺的发展。感应加热蒸发模式在真空镀膜设备上的应用,克服了传统加热方式的缺点,大大提高了生产效率及膜层质量,开创了,超音频感应加热的新时代 。

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