PECVD/MOCVD电加热水洗式尾气处理设备

韩国MAT尾气处理设备（Scrubber）适用于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等PECVD制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气.
处理的气体包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下优点：
1. 整机设计美观, 安全标准。
2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，
4．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。