光学轮廓仪 NT9800

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Wyko NT9800是目前功能最强大的光学轮廓仪，可快速地测量台阶高度、表面粗糙度及一系列形貌参数。作为Veeco的第九代NT系列产品线的最高端产品，NT9800可对0.1nm至10毫米尺寸进行非接触式三维测量，并具有纳米量级的垂直分辨率。

具有定标功能的NT9800能够协助产前工艺及满足产品开发的需要，并可作为一个向量产过渡地稳定的，可靠的平台。采用Veeco独有的内部参考激光将测量的标准台阶上的偏差降低到最小，同时可弥补自环境或机械不稳定性造成的系统飘移。NT9800将最强大的测量核心技术、全自动化功能、大于十年以上的量产支持体系，及使用简便的界面集于一身，已成为要求苛刻的科学研究及生产实践的选择。

的Wyko Vision软件有超过200种的数据分析工具，包括自动序列测量、数据记录及及时反馈和SPC的合格/不合格标准评判。可选的数据分析包有膜厚分析软件（针对100nm以上的透明薄膜）。SureVision分析模板可便利地实现自动化，MATLAB界面可使工程师自行编程及整合用户分析算法。

NT9800光学轮廓仪是一款操作简便、目前最高端的光学轮廓仪。