硅片超声波清洗机清洗设备

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本设备为浸泡式清洗机，用于扩散、外延等设备的石英管，碳化硅管的清洗
⑴ 整台设备采用进口磁白色聚丙板（PP）搭配进口焊接设备焊接而成。
⑵ 设备分为两个清洗槽，内槽为酸洗槽，外槽为水洗槽，内外槽均装
在隔离槽内，与底部和周围隔离。
⑶ 隔离槽底部倾斜式，最低处设有排水管，隔离槽后设有排气装置。
⑷清洗槽左右两端设有进口纯水喷枪和氮气喷枪。
(5）内设照明装置。
特征：
1.全自动PLC控制，可设触摸屏操作面板。
2.自动，手动互换操作功能，可储存多套工艺程序。
3.温度数字显示控制指示器。
4.故障自动报警及诊断功能。
5.多臂式位移组合机械手。
6.清洗槽四面溢水，高精度循环过滤装置，液位保护控制。
7.全封闭顶部排风系统。
8.步进或伺服电机，气动提送，精准可靠。
9.超声波频率：25KHZ,28KHZ，40KHZ，68KHZ