CMI900镀层测厚仪

CMI900（X荧光镀层测厚仪）
应用
CMI900X射线荧光镀层测厚仪，有着非破坏，非接触，多层合金测量，高生产力，高再现性等优点的
情况下进行表面镀层厚度的测量 ，从质量管理到成本节约有着广泛的应用。
行业
用于电子元器件，半导体，PCB，汽车零部件，功能性电镀，装饰件，连接器……多个行业表面镀层厚
度的测量。
技术参数
主要规格 规格描述

X射线激发系统 垂直上照式X射线光学系统

空冷式微聚焦型X射线管，Be窗

标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等

功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－标准
75W(4-50kV，0-1.5mA)－任选

装备有安全防射线光闸

二次X射线滤光片：3个位置程控交换，多种材质、多种厚度的二次滤光片
任选

准直器程控交换系统 最多可同时装配6种规格的准直器

多种规格尺寸准直器任选：
－圆形，如4、6、8、12、20 mil等
－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
测量斑点尺寸 在12.7mm聚焦距离时，最小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055mm
(使用0.025 x 0.05 mm准直器)

在12.7mm聚焦距离时，最大测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm
(使用0.3mm准直器)

样品室
－样品室结构 开槽式样品室

－最大样品台尺寸 610mm x 610mm

－XY轴程控移动范围 标准：152.4 x 177.8mm
还有5种规格任选

－Z轴程控移动高度 43.18mm

－XYZ三轴控制方式 多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、
XYZ三轴手动控制

－样品观察系统 高分辨彩色CCD观察系统