韩国LINE TECH气体质量流量控制器M3030V/A

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韩国LINE TECH气体质量流量控制器M3030V/A 10SCCM-30SLPM

【各项技术参数】
Model M3030V M3030A
流量范围(N2) 10sccm ~ 30000sccm 5sccm ~ 30000sccm
相应时间 ≤2 sec ≤2 sec
精准度 ≤±1% FS ≤±1% FS
重复精度 ≤±0.25% FS ≤±0.25% FS
输入/输出信号 0~5 Vdc 0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源 ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压 ≤90 bar ≤90 bar
工作环境温度 0~50 °C 0~50 °C
漏率 1*10E-9 atm cc/sec 1*10E-9 atm cc/sec
使用范围 2 ~ 2 ~
产品优势
质量流量检测
无需压力和温度校正
方便型的流量控制系统
高准确度
耐高压(90bar)
响应速度快
高重复精度