一、简单介绍
运用红外光谱技术检测SF6气体分解产物。
二、产品特点
• 鉴定和准确定量的主要分解产物（见下表，依据IEC 604800）。
• 只对需要监测的空间进行测量从而减低了维护费用 。
• 气体处理和操作的费用减低。
• 可靠性的提高。
• 安全性的增强。
三、产品优势
强大和完整的mid-IR用于常规和高等的实验室分析。
易用的OPUS光谱软件。
性能控制：的分光计室、状态灯、选择测量参数的
自动控制的在线诊断。
完整的测试和检验功能（OQ，PQ）。
由于发明了带完整的24bit ADC和均衡的RockSolid干涉
仪 的DigiTect探测，使得有出色的功能和稳定的信号。
多样的升级选择：用于采样室的完整的IR、外部的附件、光谱范围延伸到FIR或NIR、气体分析
的高分辨率、运动测量的各种监察速度的附件设置。
用于离子分光计操作从PC、便携式电脑或笔记本的以太网连接；可以远程控制和诊断。在交付中
包括：强大的OPUS光谱软件，多煤体演示，在线帮助，GMP标准，21CFR部分的11选项。
用于离子光谱光学和信号处理的一个基于PC上的数据系统，此需求为适当的数据系统。数据库和
软件：1.用于分析基于氟上的硫的分析的12XX05分析的方法和数据库；2.用于分析多量化的
SO2、HF、CF4、SF4、氟化亚硫氙的GAS数据库
有9种分解物在下表所示敏感度范围内以ppmv为单位可进行测量分析：
分解物 SO2 HF SF4 SOF2 SOF4 SO2F2 S2F10 SiF4 CF4
最小测量值(ppmv) 10 0.5 3 10 5 3 2 5 3
进一步分析可以确定H2O,CO2,and CO的含量
