反浸透（膜别离）技术的使用使反浸透超纯水设施从传统的阳离子替换器、脱碳、阴离子替换器、复合离子替换器失去了一次提高。近年来开端在国外推行使用的EDI（电去离子）技术，则是超纯水制作技术的一次反动，从此进入了一个无需再生化学品，而能消费出高达18MΩ·CM的超纯水，用于半导体、集成电路等行业。
反浸透超纯水设施是采纳公用RO技术设计，要害部件、设施采纳出口产品，工艺先进，品质牢靠，可扩大性强，构造正当占地小，水利用率高，能耗低，全主动化运转，操作保护简略。普通产水上限0.25m3/hr，下限不限，水回收率普通可达75%以上，脱盐率＞98%。产水量随进水温度降落和反浸透膜老化或受净化有肯定变动。
反浸透超纯水设施典型工艺流程为：
1: 预解决－反浸透－纯化水箱－离子替换器－紫外灯-纯水泵－用水点
2: 预解决－一级反浸透－二级反浸透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
3: 预解决－反浸透－两头水箱－两头水泵－EDI安装－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
4: 预解决→紫内线杀菌安装→一级RO安装→二级RO安装→两头水箱→EDI安装→脱氧安装→氮封纯水箱→除TOC UV安装→抛光混床→超滤安装→用水点
反浸透设施优点
1、RO机设计回收率＞75％；
2、RO进水高压维护，避免低压泵缺水空转；
3、RO零碎开机主动冲洗，零碎延续运转1小时主动冲洗；
4、预解决再生、反冲洗时RO零碎主动关机；原水泵主动启动；
5、原水箱水位低或纯水箱水位高时RO机主动关机，纯水箱水位低时RO机主动开机；
6、设置毛病报警批示；
7、内置PLC有灯示，保护更容易；
反浸透纯水零碎宽泛使用于：
电子工业用水 集成电路、硅晶片、显示管等电子元器件冲洗水
制药行业用水 大输液、针剂、片剂、生化制品、设施荡涤等
化工行业工艺用水 化工循环水、化工产品制作等
电力行业锅炉补给水 火力发电锅炉、厂矿中高压锅炉能源零碎
食品工业用水 饮用污浊水、饮料、啤酒、白酒、保健品等
海水、苦淡水淡化 海岛、舰船、海上钻进平台、苦淡水地域
饮用污浊水 房产物业、社区、企事业单位等
其它工艺用水 汽车、家电涂装、镀膜玻璃、化妆品、精密化学品等
