旋转硅铝靶 Rotatable SiAl Alloy target
应用：用于制作SiO2膜、Si3N4膜，主要用于光学玻璃AR膜系，Low-E玻璃膜系,半导体电子, TFT, 平面显示. 触摸屏玻璃
产品化学成分和物理性能：
化学式：SiAl 成分： SiAl（90：10wt%±2%、25:75wt%）
成型工艺：喷涂
密度: >2.2g/cm3（>94%）
纯度: > 99.9%
最大杂质含量 （单位: ppm， 总杂质含量≤ 1000ppm)
最大加工尺寸
长度L 4000MM 厚度T 6-13MM
直型、狗骨型
按客户要求定做
