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超纯金属的制备有化学提纯法如精馏(特别是金属氯化物的精馏及氢
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背靶的选择对材质的要求 一般选用无氧铜和钼靶 厚度在3mm左
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热压法 ITO靶材的热压制作过程是在石墨或氧化铝制的模具内充
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各种纯度铝中的杂质含量及剩余电阻率如表2所示 超纯金属超纯的
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